

Микромир — микроэлектроника
Posted by: Злобыч Дневнов in Микромир и околонаучное, tags: микромир, микроэлектроникаЕще раз здравствуйте. Сегодня я познакомлю вас с миром микроэлектроники. Не забудьте почитать вводную!
Первое изображение:
Поверхность кристалла микросхемы
На фото участок поверхности микросхемы. Слева внизу широкие шины питания, чуть выше и левее узкие шины металлизации. Ярко горят вольфрамовые переходные контакты. Если приглядитесь, то увидите, что они цилиндрической формы. Я это утверждение докажу следующей фотографией. В левом верхнем углу целый прямоугольный массив переходных контактов. Такие массивы присущи только широким шинам.
Второе изображение:
Разрушенный кристалл микросхемы
Тут уже участок микросхемы повернут к зрителю под углом 45 гр. Поэтому шины металлизации приобрели объем. Приобрели объем и вольфрамовые контакты — теперь невооруженным взглядом видно, что они цилиндрической формы. Возможно вас интересует, почему контакты так ярко светятся, в отличии от шин и межслойного диэлектрика. Дело в том, что чем выше атомарный номер элемента, тем ярче он будет выглядеть в электронном микроскопе. Основные химические элементы современных кристаллов — алюминий (в качестве проводника), диоксид кремния и кремний (в качестве межслойного диэлектрика и подложки) и вольфрам (в качестве перходных контактов). В сравнении с алюминием и кремнием (13 и 14) вольфрам имеет атомарный номер 74, отсюда и разница в яркости. Почему подобный эффект наблюдается я напишу по просьбе в комментариях.
Третье изображение:
Собственно участок кристалла микросхемы. Мы видим 5 слоев металлизации, переходные контакты и активный слой микросхемы. Шины металлизации проходят вдоль (2 и 4 слои) и поперек (1, 3 и 5 слои).
Четвертое изображение:
Под сильно увеличенной шиной находится тонкий барьерный слой толщиной 60 нм.
Пятое изображение:
Участок непланарного кристалла микросхемы
На этом участке, кроме шин металлизации, которые наползают друг на друга словно гусеницы, высадились какие-то кристаллы. Их состав мне не известен, но получилось красиво.
Шестое изображение
Кристаллы неизвестной соли на кристалле известной микросхемы.
Седьмое изображение:
Восьмое изображение:
Годится для обоев на рабочий стол.
На сегодня все, дорогие друзья. В следующий раз я познакомлю вас с микробиологией. Точнее с биологией в гигантских масштабах.